| 型號(hào) | OTF-1100X-15-III |
| 爐體結(jié)構(gòu) | ? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料 ? 加熱元件：SiC棒 ? 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須塞入到爐管內(nèi)部） ? 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載） ? 電動(dòng)開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡(jiǎn)便 結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動(dòng)開(kāi)啟 |
| 加熱區(qū) | ? 總加熱區(qū)長(zhǎng)度1000mm ? 三個(gè)加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
| 工作溫度 | ? 最高工作溫度1100℃ ? 最高加熱速率：10℃/min ? 加熱元件：SiC棒（36根） |
| 溫控系統(tǒng) | 控溫精度為+/-0.5℃ |
| 爐管 | ? 15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L ? 注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎 |
| 真空密封&法蘭 | ? 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈，可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr（采用機(jī)械泵抽真空） ? 左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進(jìn)氣口 ? 右端法蘭：KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測(cè)量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)） |
| 可選 | ? 此管式爐需定期校準(zhǔn)，以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性，我們可提供簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具： ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ·1個(gè)Omega溫度校準(zhǔn)儀表 ·此型號(hào)管式爐只可選用機(jī)械泵，且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能造成爐管損傷 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備 |
| 電壓 | ? 三相380V，50/60 Hz |
| 額定功率 | ? 20KW |
| 產(chǎn)品尺寸 | ? 2300L x 1500W x 1400 H mm |
| 凈重 | ? 300kg |
| 質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 免責(zé)聲明 | 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考。可能由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請(qǐng)您見(jiàn)諒。 |
| 認(rèn)證 | ? 此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證 證書(shū)編號(hào)：M.2021.206.C67998 |
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