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800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐（配5英寸旋轉(zhuǎn)樣品臺）
關(guān)鍵字：
CSS、短波燈管，快速升降溫，RTP
型號：
OTF-1200X-RTP-II-5
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或CSS（Close?Spaced?Sublimation）鍍膜實(shí)驗(yàn)，其載樣臺尺寸5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），最大升溫速率為20oC/s?。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置50段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口，可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導(dǎo)入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實(shí)驗(yàn)工具。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐（配5英寸旋轉(zhuǎn)樣品臺）OTF-1200X-RTP-II-5
視頻

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          儀表操作視頻
結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

·采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體

·真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID×9" H mm

·快速升溫MAX 50攝氏度/s

·可蒸發(fā)大尺寸基片
基本參數(shù)

工作溫度：最高800℃  推薦加熱速率：≦10℃/s（每個溫區(qū)單獨(dú)加熱）


功率：20KW  電壓：AC220V 50Hz 單相（需要20A空氣開關(guān)）
真空法蘭

·真空法蘭為316不銹鋼制作


·頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口


·底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口


·法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-4torr.（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）
加熱元件和載樣臺

·由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部


·兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)


·為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）


·采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性


·底部載樣臺上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料


·此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)

   
溫控系統(tǒng)

·兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置50段升降溫程序


·每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)


·PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
熱電偶

兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸
可選

·實(shí)驗(yàn)時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵


·采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到10E-2 torr


·若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵


·也可選購質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體按比例混好后導(dǎo)入到真空腔體中
認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
使用注意事項(xiàng)

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa


·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全


·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)


·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊


·石英管的長時間使用溫度＜1100℃


·對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
免責(zé)聲明

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