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真空閃蒸裝備
關(guān)鍵字:
DIY真空閃蒸液相法制備設(shè)備
型號:
VFA-CVM
產(chǎn)品概述:
VFA-CVM是一款真空閃蒸裝備,專門針對于客戶DIY真空閃蒸液相法制備薄膜。此套裝備包含了不銹鋼真空組件,一個NIST認(rèn)證的數(shù)顯真空計。機(jī)械泵(不包含)可對樣品腔體抽真空達(dá)到5 mTorr,來達(dá)到真空閃蒸的效果??赏ㄟ^手動調(diào)節(jié)不銹鋼針閥來調(diào)節(jié)樣品腔體的真空度或進(jìn)氣量。
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特點

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不銹鋼組件,其真空度可以達(dá)到5 mTorr (0.7 Pa)

NIST認(rèn)證的數(shù)顯真空計測量范圍:1E-4 - 1000 Torr

可以通過手動調(diào)節(jié)不銹鋼針閥來控制真空度和進(jìn)氣量

配有一Φ50mm的玻璃漏斗,50cm橡膠連接管

此套裝備可使樣品處于真空度為5 mTorr的環(huán)境,然后又回到正常大氣壓,來達(dá)到真空閃蒸的效果

image.png

樣品腔體

一個玻璃漏斗和一個硅樹脂墊作為真空閃蒸的腔體

真空度:5 mTorr (0.7 Pa),(采用機(jī)械泵)

配有兩款玻璃漏斗:Φ50mm和Φ100mm

最大樣品尺寸:玻璃漏斗:Φ50mm:樣品Φ30mm,  玻璃漏斗Φ100:樣品Φ60mm

真空/氣體接口

不銹鋼接口KF25,用于連接真空泵

不銹鋼卡套接頭Φ6.35,用于連接氣管

數(shù)顯真空計

皮拉尼數(shù)顯真空計,顯示單位:Torr / mTorr

輸入電源: 110 - 220 VAC, 50 / 60 Hz

接口規(guī)格: KF16

測量范圍: 1E-4 to 1000 Torr

image.png


真空泵(選配)

可在本公司選購VRD-8雙極旋片真空泵,抽氣速率為2L/S

應(yīng)用事項

高質(zhì)量的鈣鈦礦薄膜,可通過旋轉(zhuǎn)涂覆,然后經(jīng)過真空閃蒸制備(真空達(dá)到150mTorr,保持10s,然后回到正常大氣壓)

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