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1200度旋轉粉末ALD系統(tǒng)
型號：
ALD-1200X-R-4
產(chǎn)品概述：
ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質子流量計控制系統(tǒng)，可利用此系統(tǒng)進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
控制面板

·蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制 

·兩個ALD進氣閥

·一個精密的4通道質子流量計系統(tǒng)

·請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細資料）

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ALD進氣閥

兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關閉）

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精密液體氣相發(fā)生器

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥

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旋轉管式爐

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· 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃

· 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為50段程序化控溫

· 輸入電壓：208-240V AC，單向

· 最大功率為4KW

· 爐管旋轉速度：0-10rpm

· 回轉爐爐管結構如下圖所示：

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真空計

公司具有多種真空機可供選（點擊下圖鏈接）

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真空泵（選配）

公司具有多種真空泵可供選配（點擊下圖鏈接）

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更多可選配件?

·可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)（圖1.2）

·可選購恒溫控制模塊（圖3）

·可選購金石英測試晶體（圖4）以及熱電偶用于薄膜厚度以及溫度的測試

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質保期

一年保質期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質量認證

如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證
注意事項

l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 

l 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 

l 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

 

l 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 

l 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭
相關應用

可利用ALD系統(tǒng)顯著降低石榴石結構固態(tài)電解質與電極之間的高的固固界面阻抗，相關文獻：Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries
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