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1200℃三溫區(qū)雙管爐
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石墨烯生長(zhǎng)爐
型號(hào):
OTF-1200X-III-D5-4
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-5-III-D4?是一款三溫區(qū)的雙管爐,其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門(mén)針對(duì)于用CVD方法在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽(yáng)能電池的電極材料和電池電極材料等。
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名稱

1200℃小型三溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐OTF-1200X-III-C


爐體結(jié)構(gòu)

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

 

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命) 

 

·可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖三、四)

 

·設(shè)有開(kāi)門(mén)斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性(圖五、六)

 

·石英爐管:外管直徑為 130 mm,內(nèi)管直徑為100mm,使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應(yīng)

 

·雙管真空密封法蘭,反應(yīng)氣體通過(guò)兩個(gè)管(20mm空隙)流動(dòng)并進(jìn)行反應(yīng),強(qiáng)制對(duì)流空氣可以通過(guò)中心管進(jìn)行快速冷卻(點(diǎn)擊下列圖片查看詳情)(圖七)

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基本參數(shù)

熱偶K型熱偶    建議升溫速率≤10℃/min   

 

溫度1100℃ 1200℃<1h)  電源:AC220,50Hz   最大功率:7KW


加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm (三溫區(qū):229mm+457mm+229mm)


加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)


法蘭

·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr

 

·法蘭1包含不銹鋼針形閥(點(diǎn)擊圖一查看訂購(gòu)轉(zhuǎn)接頭)

 

·法蘭2包含kf5真空接口,方便連接真空泵

 

·法蘭采用水冷法蘭。當(dāng)工作溫度超過(guò)900°C時(shí),需要使用冷卻水(圖二)

 

·可選:您可在我公司選購(gòu)液相氣體發(fā)生器,可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用(圖三)

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爐管尺寸

·高純石英管尺寸:

 

·內(nèi)管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

 

·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

 

·使用時(shí)需放置管堵,點(diǎn)擊下圖查看詳情

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可選

·可在我公司選購(gòu)石墨烯生長(zhǎng)銅箔(圖一)

 

·可在我公司選購(gòu)移動(dòng)爐架放置設(shè)備(圖二)

 

·可在我公司選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)、真空機(jī)組等,支撐設(shè)備的同時(shí)可向設(shè)備內(nèi)通入各種混合氣體(圖三)

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密封法蘭

·一對(duì)SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)

 

·兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(圖一)

 

·一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)

 

·可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭(圖二)

 

·可選:您可以訂購(gòu)法蘭支架(圖三)

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溫控系統(tǒng)

·包含一款YD858P型溫度控制器

 

·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

 

·智能化50段可編程控制

 

·控溫精度:±1℃

 

·三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

 

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

 

·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

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外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm


凈重

90Kg


質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。


真空系統(tǒng)

·通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊

 

·通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊

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·可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質(zhì)量認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書(shū)編號(hào): M.2021.206.C67997

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證


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使用注意事項(xiàng)

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 

·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

 

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

 

·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

 

·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

 

·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應(yīng)用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

 

·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用


免責(zé)聲明

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