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1200℃小型雙爐體滑動TCVD爐(50mm石英管)
型號:
TCVD-OTF-1200X-S2-50SL
產(chǎn)品概述:
TCVD-OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1600mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在雙向?qū)е壣匣瑒?,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速升降溫的需求。同時可選配電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

· 1200℃小型雙爐體滑動TCVD爐(50mm石英管)


產(chǎn)品提示

1.多種配件可選提示     2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>  ?  3.配件妥善保管提示


主要特點

· 包含兩個爐體。

· 爐子的底部安裝有一對滑軌,可手動使爐子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

· 最高溫度可達1200℃。

· 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

· 開門斷電,提高實驗安全性。


基本參數(shù)

· 最高溫度: 1200℃(≤30min)  工作溫度: 1000℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

· 電壓:220V

· 額定功率:3KW


爐管及滑軌

· 高純石英管50mm外徑x 1500mm長

· 鍍鉻鋼制成的雙滑軌

· 滑軌長度:1600毫米


真空法蘭

· 配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。

· 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。

· 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應氣體。

· 一個機械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。

· 法蘭端提供多種接頭可選,具體請咨詢銷售。

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溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設置50段升降溫程序

· 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護

· 儀表控溫精度: +/- 1°C

· 熱電偶型號:K型


質(zhì)保

· 一年保修,終身技術支持。
· 特別提示:

     1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

     2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

 點擊查看售后服務承諾書


認證

· 此產(chǎn)品已通過CE認證

 證書編號:M.2021.206.C67998

應用技術提示

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。

· 進入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

· 石英管的長時間使用溫度<1000℃。

· 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源,防止出現(xiàn)安全問題。

警示

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

· 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

· 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。

· 如需高溫取樣,請務必穿戴好安全裝置.


可選配件

· 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點擊這里學習如何安裝減壓閥)。(圖1)

· 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2)

· 可選購歐陸儀型溫控儀表,控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3)

· 可選購石英管堵,提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。(圖4)

· 可選購石英舟盛放樣品。(圖5)

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          圖1                       圖2                         圖3


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          圖4                        圖5                        

電動滑軌(選配)

· 可選購電動滑軌,更加方便安全。

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CVD系統(tǒng)(選配)

· 可搭配等離子射頻電源、供氣系統(tǒng)來搭建TCVD系統(tǒng)。

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溫度校準(選配)

· 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括:

· K型熱電偶

· Omega溫度校準器

· 熱電偶補償線

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PC控制(選配)

· 請在購買爐子前,準備一臺電腦。

· 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序,以達到遠程控制。

· 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。

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真空配件(選配)

· 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。

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· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。

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· 機械真空計(作為設備標配),范圍從-0.1到0.15Mpa。

· 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。

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真空泵組(選配)

此設備也可以進行抽真空,配合本公司生產(chǎn)的真空泵組

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