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1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD）
關(guān)鍵字：
FBCVD適用于粉末樣品
型號(hào)：
OTF-1200X-S-FB
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式爐，專門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

? 1200℃小型流化床CVD爐-OTF-1200X-S-FB
產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備    3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?nbsp;   4、配件妥善保管提示
產(chǎn)品特點(diǎn)

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

? 爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便與更換爐管

? 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命

? 專門針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)
基本參數(shù)

? 溫度：最高1200℃ （長(zhǎng)期1100℃）

? 建議升溫速率：≤10℃/min

? 熱偶：K型熱偶    

? 電源：220V  

? 最大功率：1.2KW

? 控溫精度：±1℃

? 爐管尺寸：兩端Φ25mm（中間Φ50mm）；長(zhǎng)482mm

 圖片1.png


? 爐管材料:采用高純特質(zhì)石英爐管

? 加熱區(qū):加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm

? 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命）

 多孔石英板:

? 孔徑：10-15微米

? 尺寸：φ22mm x 4mm 厚

 圖片2.png 圖片3.png


溫控系統(tǒng):

? 包含一款YD858P型溫度控制器

? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

? 智能化50段可編程控制

? 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

? 通過MET認(rèn)證

 圖片4.png
外形尺寸

爐體尺寸：340mm×300mm×1300mm ( W x L x H)

爐膛尺寸：Φ80X200
凈重

? 約20 kg
認(rèn)證

? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

 圖片5.png
質(zhì)保期

? 一年保修，終身技術(shù)支持。
? 特別提示：

  1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

  2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

應(yīng)用技術(shù)提示

·購(gòu)買前請(qǐng)聯(lián)系我們，確定進(jìn)出氣口以及閥門種類。

·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃。

·設(shè)備使用過程兩邊添加管堵，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性。

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。

·若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

警示

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公 司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。


真空系統(tǒng)

? 通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr.

? 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr.

圖片5.png

供氣系統(tǒng)

（可選）

? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計(jì)可供選擇，以實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。

單通道浮子

單通道質(zhì)子

兩通道浮子

兩通道質(zhì)子

多通道浮子

（防腐）

圖片6.png95870759.jpg圖片8.png37906452.jpg圖片10.png


減壓閥

? 可選用本公司減壓閥，以實(shí)現(xiàn)氣體壓力的精確控制。

圖片11.png


PC控制(選配）

? 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

圖片12.png


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