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緊湊型高精度反射膜厚儀系列
- 關(guān)鍵字:
- 高精度
- 型號(hào):
- TFMS-IV
- 產(chǎn)品概述:
- TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀,利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。反射膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品型號(hào)
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TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀 |
主要特點(diǎn)
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1、光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案 2、非接觸、非破壞測(cè)量 3、覆蓋單層到多層薄膜 4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜 5、配置靈活、支持定制化 6、采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?,光譜覆蓋可見(jiàn)光到近紅外范圍 7、采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì),體積小,操作簡(jiǎn)便 8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層 9、配置強(qiáng)大核心分析算法:FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息 |
技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) | TFMS-IV | TFMS-IV(可選) | 基本功能 | 獲取薄膜厚度值以及R、N/K(可選)等光譜 | 光譜波長(zhǎng)范圍 | 380-800nm | 650-1100nm(可選) | 測(cè)量厚度范圍 | 50nm-20um | 100nm-200um(可選) | 測(cè)量時(shí)間 | <1s | 光斑尺寸 | 0.5-3mm | 重復(fù)精度 | 0.1nm(100nmSiO2/Si) | 絕對(duì)精度 | ±1nm or 0.5% | 入射角方式 | 垂直入射 |
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可選配件
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1、溫控臺(tái) 2、Mapping擴(kuò)展模塊 3、真空泵 |
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