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小型真空平板熱壓機(jī) （50x50mm, 500℃ ,500Kg）
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500℃ 、上下壓板尺寸小、壓力控制精確
型號(hào)：
VHP-5000N-2
產(chǎn)品概述：
VHP-5000N-2是一款小型化的平板式真空熱壓機(jī)，針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理最大樣品尺寸為50mm?x?50mmx15mm。設(shè)備優(yōu)越的性能非常適合于第三代半導(dǎo)體器件的燒結(jié)鍵合研究，儀器最高工作溫度為500℃，最大壓力為5000N。完全滿足于半導(dǎo)體器件制備過程中的封裝互聯(lián)材料的封裝互聯(lián)工藝所需，可提供的真空與氣氛環(huán)境可以盡可能的減少材料的氧化，是極具性價(jià)比的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)設(shè)備。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
電源

· 總功率：500W

· 電源：208 - 240VAC, 50/60 Hz 單相
設(shè)備特點(diǎn)

·設(shè)備小型化(特效)；有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。
·半導(dǎo)體封裝互聯(lián)材料制備（特效）；適用于晶片焊接、薄膜轉(zhuǎn)移及第三代半導(dǎo)體器件的鍵合研究。
·最大壓力5000N；精確控壓。
·可以真空及氣氛燒結(jié)。
·熱壓最高溫度500度。
上下平板熱壓系統(tǒng)

· 上下加熱平臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi)；

· 上下加熱平臺(tái)在冷態(tài)下的平面度為≤0.005mm；

· 兩塊50mm x50mm加熱平臺(tái)，采用耐熱不銹鋼制成，最高可承受溫度為500℃（<30min）；

· 可放入樣品最大尺寸為：50*50*15mm；

· 上下各一塊200W的加熱平臺(tái)，以達(dá)到快速加熱的效果；

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· 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/1℃，500度恒溫時(shí)的溫度波動(dòng)+/3℃，分別獨(dú)立控制兩個(gè)加熱平臺(tái)。

· 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)。最高工作溫度為500℃（<30 min）

· 連續(xù)工作溫度：450℃

· 最快升溫速率：10℃/min

· 可選購軟件和PC接口安裝在控溫儀表上，可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中。

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· 在上加熱平臺(tái)上部和下加熱平臺(tái)下部，各安裝有一塊水冷板，用于實(shí)現(xiàn)高溫加熱時(shí)起到冷卻作用。
壓力控制系統(tǒng)

· 最大壓力：500Kg（5000N）（500℃溫度狀態(tài)下）

· 壓力控制系統(tǒng)配置電動(dòng)無油壓機(jī)

· 無油壓機(jī)行程為 30 mm；

· 壓機(jī)帶手動(dòng)和自動(dòng)兩種工作模式；

· 在自動(dòng)加壓模式下，帶自動(dòng)恒壓功能，恒壓精度：±1Kg（±10N）

· 壓力顯示范圍：1-500 Kg

· 壓力控制范圍：10-500 Kg（可調(diào)）

· 恒壓時(shí)間設(shè)定范圍：1—9999min（可調(diào)）
真空腔體

· 真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形）。

· 真空度<5*10E-2 torr（冷態(tài)下，VRD-8真空泵抽30min）

· 一個(gè)機(jī)械真空壓力表安裝在真空腔體上，測(cè)量內(nèi)部的真空度，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；可選配安裝數(shù)顯壓力表

· 一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷

· 一個(gè)4英寸的觀察窗口用于觀察物料形態(tài)

· 一個(gè)KF25接口用于連接真空系統(tǒng)，且多預(yù)留了一個(gè)KF16接口

· 腔體背面的兩個(gè)φ12mm的水管接口用于水冷設(shè)備的進(jìn)出水管，KF50連接板上面的陶峰電極，用于在真空下連接上下加熱板和測(cè)溫?zé)犭娕季€；

圖片5.jpg 圖片6.jpg
真空系統(tǒng)（可選）

· 型號(hào)：VRD-8

· 抽氣速率：2.2 L/S

· 電機(jī)功率：370 W

· 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載）

· 為了得到更高的真空度，可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng) 

圖片7.jpg
水冷系統(tǒng)（選配）

· 型號(hào)：KJ-5000

· 工作電壓：AC 220V 50HZ

· 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

· 壓縮機(jī)功率：300W，水箱容量：6L

· 最大流量：16L/min，凈重：24 Kg

· 外形尺寸：550*280*430mm

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重量

約 43Kg
外形尺寸

主機(jī)：200mm(L) x 130mm(W) x 700mm(H)

控制箱：340*300*140mm

圖片9.jpg
質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)




 

   注意事項(xiàng)

· 保持整個(gè)機(jī)器的清潔、定期清理。防止粉塵，最好將機(jī)器放在一個(gè)無粉塵的環(huán)境中工作。

· 開機(jī)時(shí)如果上次壓機(jī)關(guān)機(jī)不在最低點(diǎn)，機(jī)器會(huì)自動(dòng)復(fù)位到最低點(diǎn)。

· 取料時(shí)請(qǐng)佩戴防護(hù)手套，以防燙傷

· 腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向腔體內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.2MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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