| 名稱 | 1200℃自動(dòng)化進(jìn)出料快速加熱管式氫氣爐（多種管徑可選） |
| 設(shè)備特點(diǎn) | 1. 可通入純氫，并且有相關(guān)的防護(hù)措施與尾氣處理 2. 可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)法蘭開啟與推拉料 3. 設(shè)備配置有進(jìn)氣電磁閥、電子點(diǎn)火器和探測器，一旦發(fā)生氣體泄漏，將自動(dòng)切斷進(jìn)氣 4. 尾氣燃燒處理，無明火，可自動(dòng)檢測尾氣處理是否正常。 5. 可實(shí)現(xiàn)快速升降溫，通過系統(tǒng)控制與工藝配合實(shí)驗(yàn)精確控制。 6. 采用觸摸屏操作（純機(jī)械操作可選），數(shù)據(jù)可導(dǎo)出
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| 基本參數(shù) | 最高使用溫度 1200度 長期使用溫度 1100度 最大升溫速率20度/分 最大降溫約速率50度/分 加熱原件：電阻絲（進(jìn)口高質(zhì)量可選） 操作方式：觸摸屏配合機(jī)械按鈕 可放入樣品尺寸XXX 外形尺寸：XXX 重量：XXX |
| 加熱爐 | 根據(jù)樣品尺寸選擇標(biāo)準(zhǔn)加熱爐模塊
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| 爐管及法蘭 | 1.材質(zhì)：高溫不銹鋼（可選鎳基合金不銹鋼管） 尺寸：XXXX 2.附帶石英內(nèi)襯，污染后可清洗更換（確保內(nèi)村在燒結(jié)中不想變形） 3.采用無氧銅密封圈（一次性耗材）確保密封 4.爐管可移動(dòng)（將根據(jù)最終方案決定爐管移動(dòng)或者爐體移動(dòng)）配備自動(dòng)降溫系統(tǒng) 5.全自動(dòng)開啟法蘭 6.配備有爐管防爆網(wǎng)
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| 進(jìn)氣與出氣過程 | 1. 進(jìn)氣端安裝有兩路進(jìn)氣系統(tǒng)，一路為保護(hù)氣體進(jìn)氣，一路為工作氣體進(jìn)氣，工作氣體進(jìn)氣通過一個(gè)浮子流量計(jì)和進(jìn)氣電磁閥，當(dāng)檢測系 漏時(shí)將自動(dòng)關(guān)閉工作氣體進(jìn)氣電磁閥，同時(shí)打開保護(hù)氣體進(jìn)氣電磁閥，往爐管內(nèi)充入保護(hù)氣體； 2. 出氣端安裝有兩路出氣系統(tǒng)，一路為工作氣體出氣口，一路為預(yù)留出氣口。工作氣體出氣口安裝有一浮子流量計(jì)，浮子流量計(jì)量程0.2 裝有一個(gè)電子點(diǎn)火器，用于對(duì)工作氣體進(jìn)行電子點(diǎn)火
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| 溫度控制 （國產(chǎn)儀表可選） | 1.控儀表為歐陸3504程序溫控儀表 2.PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) 3.可存儲(chǔ)10段溫度曲線（每段曲線可設(shè)置500段程序） 恒溫控溫精度：±0. 1 ℃ ·設(shè)有超溫報(bào)警，以防止人員誤操作 面板上有EIA485通訊接口，可以電腦相連接（用電腦控制儀器） 4.確保爐溫與實(shí)際溫度一致，并且提供溫區(qū)分布參考圖（數(shù)據(jù)）
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| 氣體探測器 | 1.配有兩套氫氣探測器在此系統(tǒng)中，一套為固定式，安裝在固定支架上面，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備氫氣的泄漏情況；一套為便攜式，可以隨時(shí)對(duì) 進(jìn)行監(jiān)測。 2.氫氣監(jiān)測范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ 3.報(bào)警點(diǎn)設(shè)置：氫氣報(bào)警器設(shè)置有兩個(gè)報(bào)警，第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)50ppm，一旦探測到氫氣濃度達(dá)到此值時(shí)，氫氣報(bào)警器將發(fā)出蜂鳴報(bào)警聲，提 點(diǎn)。 第二級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達(dá)此值時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉氫氣進(jìn)氣閥。
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| 自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)（手動(dòng)可選） | 1. 一個(gè)K型(S型可選)的鎧裝熱電偶通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品的實(shí)際溫度。 2. 通過步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺(tái)），最大行程為200mm。（根據(jù)無桿氣缸組件配不同的爐子行程不同，客戶可定制行程） · 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度為180mm/min（可根據(jù)要求提供變速控制，需要定制速度購買前請(qǐng)與銷售溝通 但需額外付費(fèi)）。 3. 可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費(fèi)
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| 真空泵 | 1. 根據(jù)實(shí)際情況選擇標(biāo)準(zhǔn)真空泵，用于實(shí)驗(yàn)前洗氣 2. 配備防腐真空計(jì) 3. 控制集成到整體系統(tǒng)
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| 供氣系統(tǒng) | 1. 氫氣專用質(zhì)子流量計(jì)與密封 2. 根據(jù)客戶具體工藝選擇相應(yīng)路數(shù)的供氣系統(tǒng) 3. 根據(jù)最終方案選擇集成或者標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 4. 控制集成到整體系統(tǒng)
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