| 特點(diǎn) | EQ-Slide-300 是一款真空自動(dòng)滑行裝置，連接外徑80 mm爐管可在真空或氣氛下移入和移出樣品； 系統(tǒng)分為兩種工作模式，一種為快速移動(dòng)模式，可以實(shí)現(xiàn)樣品的快速升溫和快速降溫；另一種為慢速移動(dòng)模式，可以實(shí)現(xiàn)單晶和二維材料的生長(zhǎng)。
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| 移動(dòng)機(jī)構(gòu) | ·精密螺桿由直流電機(jī)通過真空密封可伸縮的波紋管以兩種速度驅(qū)動(dòng)： 快速移動(dòng)模式：300mm/min（恒速） 慢速移動(dòng)模式：0.5mm-30mm/min（可調(diào)） ·樣品移動(dòng)距離：1-300mm（可調(diào)） ·移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在移動(dòng)工作臺(tái)上，尺寸為600mmx600mmx600mm |
| 爐管/法蘭 | ·一套 KF25 真空接口和外徑 80 mm 真空密封法蘭，用于連接可伸縮波的紋管和帶有KF25接口的爐管； ·可根據(jù)客戶要求，選配φ100，φ60，φ25等其它尺寸，具體詳詢我們銷售人員 ·真空度：10-5 torr
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| 樣品架 | ·波紋管中間安裝一根帶有隔熱管堵的不銹鋼棒，棒中插入一根50x50mm石英樣品架，用于盛放CVD或退火的樣品 ·移動(dòng)機(jī)構(gòu)底部有一個(gè)高度可調(diào)的工作臺(tái)，可以方便對(duì)齊 ·可以在樣品架下方放置一根 K 型熱電偶，用于監(jiān)測(cè)溫度
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| 控制面板 | 移動(dòng)爐架上，有個(gè)7英寸觸摸屏面板和控制盒，可對(duì)所有移動(dòng)參數(shù)進(jìn)行編程和記錄/顯示樣品的溫度 |
| 尺寸圖 |
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| 操作視頻 |
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| 應(yīng)用提示 | 該設(shè)備僅匹配合肥科晶管式爐，如下鏈接
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