| 設(shè)備名稱型號(hào) | 100L/S高速分子泵組(觸摸屏控制)-GZK-103G |
| 特點(diǎn) | · 600*600mm的承重臺(tái)面，可配合科晶管式爐使用，節(jié)約空間 · 極限真空度可達(dá)10-4Pa，滿足大多數(shù)高真空實(shí)驗(yàn)要求 · 連接管路全部采用不銹鋼制成，漏氣率極低 · 滾輪上裝有制動(dòng)裝置，提高了安全性。 |
| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50/60HZ · 功率：1KW · 系統(tǒng)極限真空度：9*10-5Pa（不帶負(fù)載） · 抽氣速率：110L/s · 工作環(huán)境溫度：5-32℃ · 空氣相對(duì)濕度：≤80% |
| 機(jī)械泵 | · 抽氣速率：3L/S · 電機(jī)功率：400W · 極限壓強(qiáng)：6*10-2Pa |
| 分子泵 | · 抽氣速率：100L/S · 極限壓強(qiáng)：6*10-6Pa · 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min · 額定轉(zhuǎn)速：42300rpm · 冷卻方式：風(fēng)冷 |
| 分子泵控制器 | · 電源：200-240V · 輸出功率：150W · 加速時(shí)間：3min · 輸出頻率：高速 704HZ±10% · 低速 430HZ±10%
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| 復(fù)合真空計(jì) | · 電源：220V 50/60HZ · 電阻柜阻值：約85Ω · 自動(dòng)保護(hù)電離：＞10Pa · 電離規(guī)管測(cè)量范圍：100-10-5Pa · 電阻硅管測(cè)量范圍：105-10-1Pa |
| 設(shè)備外形尺寸 | ·600mm（L）*600mm（W）*750mm（H）
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| 重量 | ·約60KG |
| 質(zhì)保 | ·一年保質(zhì)期，終身維護(hù) |
| 可選 | ·不銹鋼高真空泵前級(jí)顆粒過(guò)濾器 FPTA-6-LD
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科晶實(shí)驗(yàn)室使用分子泵配合進(jìn)行一系列實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下：
實(shí)驗(yàn)名稱 | 實(shí)驗(yàn)過(guò)程 | 實(shí)驗(yàn)結(jié)果 | 分子泵作用 |
硒化碲蒸鍍 |
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| 使蒸鍍腔體內(nèi)部真空度達(dá)到10 mTorr級(jí)別，實(shí)現(xiàn)硒化碲無(wú)氧化蒸鍍。 |
高真空鈦片退火 |
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| 使管式爐內(nèi)部真空度達(dá)到10-4 Pa級(jí)別，實(shí)現(xiàn)鈦片高溫?zé)o氧化退火。 |
硒化碲
樣品 | SEM形貌 | |||
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硒化碲
硒化碲光能薄膜電池循環(huán)檢測(cè)：
若有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)數(shù)據(jù)請(qǐng)聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室
注意事項(xiàng) | · 泵在正常運(yùn)行中，不可進(jìn)行斷電操作，更不可以插拔任何電纜以及信號(hào)線。避免電路產(chǎn)生電弧而造成故障。 · 定期對(duì)泵的進(jìn)氣管路進(jìn)行點(diǎn)檢，最好做撿漏測(cè)試，防止密封性不好導(dǎo)致真空不好，甚至造成真空泵故障。 · 不得對(duì)氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體抽真空，否則容易損壞擋板閥，波紋管、三通等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。 |
相關(guān)可選 | ·可選用柔性不銹鋼真空軟管配套使用（波紋管）。（圖1） ·可選用KF40高真空手動(dòng)隔斷閥配套使用，采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口，漏率達(dá)5*10-9Pam3/s。（圖2） ·可選用冷阱或微粒捕集器，以保護(hù)分子泵免受冷凝蒸氣或小顆粒的損壞（圖3、圖4） ·連接分子泵與波紋管間需要KF-40卡箍。（圖5）
圖1 圖2 圖3
圖4 圖5 |
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