| 產(chǎn)品名稱 | Mist-CVD系統(tǒng) OTF-1200X-MCVD-φ50 |
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| 系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | ·霧化裝置：配有1.7MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，導(dǎo)入到管式爐中。 ·真空系統(tǒng)：GZK-101真空系統(tǒng)，極限真空度為10^-3torr |
| 管式爐-加熱部分 | ·電壓：單相, 220V AC,50/60 Hz · 最大功率：3KW 工作溫度 · 連續(xù)工作溫度：1100℃ ·最高工作溫度：1200℃（＜1h） ·推薦升溫速率≤ 10℃/min ·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金，表面涂有氧化鋯涂層 · 加熱區(qū)長度：400mm 控溫系統(tǒng) ·可設(shè)置50段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護(hù) ·控溫精度為：+/- 1oC 爐管 ·采用高純石英管 · 石英管尺寸：Φ50*1000mm 密封法蘭 ·左端配置有一個(gè)KF系列快接法蘭，與霧化裝置相連接（圖一），并通過三通連接有一個(gè)機(jī)械真空壓力表。 ·左端進(jìn)氣口法蘭通過一個(gè)直徑φ25mm的石英管通入加熱爐內(nèi)部； ·右端配置有一個(gè)KF系列的快接法蘭，與真空系統(tǒng)相連 ·石英管內(nèi)配置有一個(gè)斜的石英舟，用于放置客戶的基片樣品（圖二）
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| 超聲霧化裝置 | 共配置有1個(gè)霧化裝置 霧化裝置參數(shù)： ·220VAC ，1.7MHz超聲霧化儀 ·液體罐標(biāo)配為316不銹鋼材質(zhì)（PTFE及其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進(jìn)行定制），并采用氟膠密封圈密封； ·可設(shè)置1-5檔霧化量，通過調(diào)節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少； ·可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化和定時(shí)運(yùn)行霧化兩種功能。定時(shí)時(shí)間從30分鐘到180分鐘可調(diào)
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| 四路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) | ·氣路示意圖如下：
·兩路氣體通過四個(gè)流量計(jì)，流量計(jì)1、3混合后的氣體通入霧化裝置作為霧化載氣；流量計(jì)2、4混合后的氣體作為稀釋氣體通過一個(gè)三通直接通入爐管。 供氣系統(tǒng)參數(shù)： ·流量計(jì)量程：500sccm ·工作電壓：AC 220V/50HZ ·工作溫度：5-45℃ ·工作壓強(qiáng)：3×106Pa ·最大輸出功率：23W ·精度：±1.5%FS ·線性：±(0.5～1.5)%F.S. ·重復(fù)精度：±0.2%F.S. ·響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec ·工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
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| 真空機(jī)組 | ·型號(hào)：GZK-101 ·抽氣速率：3L/S ·雙層立式油霧過濾器（PE材質(zhì)）與真空泵連接
·電阻真空計(jì)型號(hào)：DGR-52
渦旋式真空泵（選配） 一種干式真空泵，該結(jié)構(gòu)的真空泵可實(shí)現(xiàn)真正的無油，同時(shí)基本無油渦旋壓縮技術(shù)結(jié)構(gòu)，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速， 在無油環(huán)境下工作，對(duì)被抽容器無污染，可抽除可凝性氣體 · 電壓：AC 100-240V · 功率：400W · 抽氣速率：3L/s · 極限真空度：0.8 Pa（不帶負(fù)載） · 轉(zhuǎn)速：1800rpm · 泄漏率：＜1*10-7Pa*m3/s · 外形尺寸：430*255*290mm
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| 儀器重量 | 約150kg |
| 外形尺寸 | · 設(shè)備尺寸：1200*800*1250mm（長*寬*高） · 霧化裝置尺寸：150*150*300mm（長*寬*高） · 注射泵尺寸：265*200*150mm（長*寬*高）
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| 質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保，終身維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng) | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和 防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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