| 立式管式爐 | ·雙層殼體結(jié)構(gòu)，并且?guī)в酗L(fēng)冷系統(tǒng) ·80mm外徑氧化鋁管，帶有真空密封結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)和提拉機構(gòu) ·采用MoSi2作為加熱元件，最高溫度可達1700℃ ·電壓：208-240VAC，單相，50/60Hz ·功率：最大4KW |
| 氧化鋁管和法蘭 | ·高純氧化鋁管：外徑80mm×內(nèi)徑70mm×長度1000mm ·頂部法蘭：水冷法蘭，安裝有針閥和KF25接口，用于接旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和提拉機構(gòu) ·底部法蘭：法蘭上安裝有不銹鋼針閥，KF25接口，用于連接真空泵 ·工作氣體：惰性氣體，CO2，和氧氣，最大氣壓可達0.2MPa
|
| 提拉機構(gòu) | ·提拉機構(gòu)驅(qū)動，采用伺服電機 ·提拉速度：0.4-15mm/hr ·提拉桿旋轉(zhuǎn)速度：0.1-23RPM ·提拉行程：0-260mm ·最快提拉速度：35mm/min
|
| PVT法 | ·原材料通過底部法蘭（法蘭上安裝有氧化鋁棒）推進到爐管內(nèi) （設(shè)備中不包含坩堝，可在本公司選購各種坩堝） ·籽晶（基底）將固定在頂部提拉桿上 ·籽晶與原料坩堝開始保持一個距離，然后設(shè)備加熱，晶體生長，籽晶慢慢上移 ·工作氣體：惰性氣體，CO2，和氧氣，最大氣壓可達0.2MPa |
| 布里奇曼法 | ·原材料放入到一個底部V型的坩堝中 ·坩堝懸掛在提拉桿上 ·在爐體加熱過程中坩堝旋轉(zhuǎn)和上移來實現(xiàn)晶體生長 |
| 溫控系統(tǒng) | ·采用歐陸（Eurotherm）溫控儀表，控溫精度+/-0.1℃ ·可設(shè)置28段升降溫程序，采用PID方式控制溫度
|
| 真空泵&真空度 | ·采用機械泵，真空度10E-2Torr（圖1） ·采用分子泵系統(tǒng)，真空度10E-5Torr(圖2） ·真空泵標準設(shè)備中不包含，需要額外購買 ·對于氧敏感性材料，建議使用循環(huán)系統(tǒng)（H2O,O2<1PPM）代替分子泵系統(tǒng)
圖1 圖2 圖3 |
| 循環(huán)水冷機 （可選） | ·可選循環(huán)水冷機，用于水冷法蘭，保證設(shè)備密封性 |
| 設(shè)備重量&尺寸 | ·重量：105kg ·尺寸：L×W×H: 860 mm×740 mm×2160 mm |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
